單項(xiàng)選擇題利用自準(zhǔn)光學(xué)量?jī)x,可以測(cè)出反射鏡對(duì)光軸()很小偏轉(zhuǎn)。

A.垂直方向
B.水平方向
C.前后位置
D.旋轉(zhuǎn)方向


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2.單項(xiàng)選擇題激光干涉儀的測(cè)量長(zhǎng)度為()。

A.60M
B.100M
C.80M
D.120M

3.單項(xiàng)選擇題激光干涉儀的最小分辯率為()。

A.0.02um
B.0.05um
C.0.08um
D.0.1um

4.單項(xiàng)選擇題激光干涉儀的最大移動(dòng)速度為()。

A.100mm/s
B.200mm/s
C.300mm/s
D.500mm/s

5.單項(xiàng)選擇題激光干涉儀的測(cè)量精度為()(L:被測(cè)量長(zhǎng)度)。

A.2×10-7L
B.5×10-7L
C.5×10-8L
D.3×10-8L