超微機(jī)械加工、光刻加工、體刻蝕加工、面刻蝕加工、LIGA技術(shù)、封接技術(shù)、分子裝配技術(shù)。

光敏液相固化法、選區(qū)片層粘結(jié)法、選區(qū)激光燒結(jié)法。

包括了所有能使零件成形、位置和尺寸精度到微米和亞微米范圍的機(jī)械加工方法。